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特長
― 幅広い使用温度範囲(-30℃~+90℃)
― 高い信頼性(MTBF 35,000時間以上)
― リークレスのマグネットポンプを採用
― マルチファンクション、ユーザーフレンドリーなタッチパネルディスプレイ
― セントラルモニタリングシステム(CMS)に対応可能(オプション)
― SEMI S2, S8, F47に適合、CEマーキング自己宣言済み

 

DEX-20A 仕様

Temp. range
温度。範囲
-20~+80℃/シングルチラー
temp. accuracy
気温。精度
±1 deg.C
Heat medium
熱は媒体
GALDEN/Fluorinert/DI-EG
Cooling capacity
冷却能力
2kW (at –10℃)
Pump capacity
ポンプ能力
20L/min (at 0.4MPa)
Utility water
ユーティリティ水
15L/min (at +25deg.C)
Special spec
特別仕様
対応可能
Interface
インターフェイス
アナログ/デジタル
Dimensions
寸法
W560×D910×H946mm
Power supply
パワーサプライ
AC200V 3Phase* 0A 50/60Hz

注:仕様は予告なしに変更する場合がありますので、あらかじめご了承ください。

DEX-20A 冷却能力曲線

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 DEX-20A ポンプ能力曲線

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DEX-25AZ 仕様

 
Temp. range -30~+80 deg.C /Single Chiller
temp. accuracy ±1 deg.C
Heat medium GALDEN/Fluoriner
Cooling capacity 3.5kW (at -20deg.C)
Pump capacity 23L/min(at 0.4MPa)
Utility water 30L/min (at +20deg.C)
Special spec Accepted
Interface Analog/Digital
Dimensions W:560 x D:910 x H:946 mm
Power supply AC200V 3Phase* 30A 50/60Hz

注:仕様は予告なしに変更する場合がありますので、あらかじめご了承ください。

   
 
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