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特長

― デュアルチャンネルチラー
― ユーザーフレンドリーなタッチパネルディスプレイを採用
― 消費電力の削減(従来60A→30A)
― 各種インターフェースに対応(アナログ/デジタル)
― 省フットプリント
― SEMI S2, F47に適合、CEマーキング自己宣言済み


ESL-60仕様

Ch-1: -20~+80℃/デュアルチラー
Ch-2: +10~+40℃/デュアルチラー

±1 deg. C

GALDEN®/Fluorinert™//DI-EG

Ch-1: 3kW (at +20℃)
Ch-2: 5kW (at +20℃)

Ch-1: 15L/min (at 0.4MPa)

Ch-2:  17L/min (at 0.45MPa)

30L/min (at +20℃)

対応可能

アナログ/デジタル

W450×D950×H1700mm

AC208 3Phase* 30A 50/60Hz

注:仕様は予告なしに変更する場合がありますので、あらかじめご了承ください。


ESL-60冷却能力曲線

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