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特長

― パワフル冷却能力オプション(60kWまでの構成が可能)
― 高温度での動作可能 - +200℃まで
― 省エネシステム
― ユーザーフレンドリーな“スマートLCD”の採用
― 各種インターフェースに対応(アナログ/デジタル)
― コンパクト設計/スモールフットプリント
― SEMI S2, F47に適合、CEマーキング自己宣言済み

HTX-10A仕様

Temp. range
温度。範囲

+30~+200℃
(Facililty water @ +20 deg.C)

temp. accuracy
気温。精度
±1 deg. C
Heat medium
熱は媒体
GALDEN® HT-270
Cooling capacity
冷却能力
22kW (at +200℃)
Pump capacity
ポンプ能力
76L/min (at 0.2MPa)
Utility water
ユーティリティ水
19~26L/min (at +20℃)
Special spec
特別仕様
対応可能
Interface
インターフェイス
アナログ/デジタル
Dimensions
寸法
W457×D914×H1213mm
Power supply
パワーサプライ
AC200~208V 3Phase* 20A 50/60Hz

注:仕様は予告なしに変更する場合がありますので、あらかじめご了承ください。


HTXポンプ能力曲線

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