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ATSはお客様(チラーと循環装置)にトータルソリューションをご提供するため、
MODOC Engineering
を買収いたしました。また、その他の主要メーカーからも温度コントロール用循環液および潤滑油を調達し
ています。温度コントロール用循環液、フィルター、試験装置、潤滑装置など、様々な市場のお客様に対
応できるよう、ラインナップを取り揃えております。

1970年代以降、MODOC Engineeringは米国内外において、マイクロエレクト
ロニクス/半導体、レーザー、食品加工、航空宇宙市場において主要なサプライヤ
ーであり続けました。私どもは西海岸においてGalden®, ディフュージョンおよび
炭化水素液を広範囲に、多くの商品仕入れを行っている会社の一つです。
MODOCはLam Research社からサービス品質および納期遵守に関して優秀賞
を、また米国国防総省のQuality Vendor Programにも選定されました。ATS
におきましては、サービス品質の向上を常に念頭において活動を続けています。

MODOC製品
HT – GALDEN ®

HT – GALDEN®循環液は、より幅広い使用温度範囲・沸点、より良い熱伝導係数、
そしてより高い比熱でお客様の熱伝導プロセスのお手伝いをいたします。

GALDEN ®
ウェーハーのエッチング、CVDおよびイオンインプラ用の誘電性熱伝導循環液。

Fluorinert ™循環液の代替品としてご使用いただけます。また、Galden ®は多
くのサーマルショックアプリケーションにとっ
て唯一の、液体による解決策をご提案するものであり、ベーパーフェイズソルダリン
グおよび溶接密閉テスト用のすぐれた熱交換循環液です。

MODOC GF-2450
携帯用のGalden®およびFluorinert ™リーク検知器

DOW CORNING
シリコンディフュージョンポンプ液および高真空潤滑油


-1製品に関する情報



情報やモドック製品の注文については、
お電話または当社の本社をメールで送信。

ATS  - USA
3355 East La Palma Avenue,
Anaheim, CA, 92806
TL.+1-714-688-4200
FX.+1-714-688-4
Email: info@atschiller.com


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