Advanced Thermal Sciences (ATS)

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MXシリーズ
特長
―　省エネチラー
―　運転モード自動切換え(Load Mode/Idling Mode)
―　冷却能力自動切換え機能装備(特許取得済み)
―　加熱/冷却アシスト機能装備
―　幅わずか390mmのスリムボディ
―　SEMI S2, S8, F47に適合、CEマーキング自己宣言済み

MX-20仕様

Temp. range 温度。範囲	-20 to +80 deg. C/Single Channel Chiller
temp. accuracy 気温。精度	±1 deg. C
Heat medium 熱は媒体	GALDEN/Fluorinert/DI-EG
Cooling capacity 冷却能力	2kW (at -10 deg.C), 3.5kW (at >0 deg.C)
Pump capacity ポンプ能力	20L/min (at 0.4MPa)
Utility water ユーティリティ水	20L/min (at +25 deg.C)
Special spec 特別仕様	対応可能
Interface インターフェイス	アナログ/デジタル
Dimensions 寸法	W:390 x D:1035 x H:1245mm
Power supply パワーサプライ	AC208V 3Phase* 20A 50/60Hz

注：仕様は予告なしに変更する場合がありますので、あらかじめご了承ください。

MX-20冷却能力曲線

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MX-20ポンプ能力曲線

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