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MXシリーズ
特長
― 省エネチラー
― 運転モード自動切換え(Load Mode/Idling Mode)
― 冷却能力自動切換え機能装備(特許取得済み)
― 加熱/冷却アシスト機能装備
― 幅わずか390mmのスリムボディ
― SEMI S2, S8, F47に適合、CEマーキング自己宣言済み

 

 

MX-20仕様

Temp. range
温度。範囲
-20 to +80 deg. C/Single Channel Chiller
temp. accuracy
気温。精度
1 deg. C
Heat medium
熱は媒体
GALDEN/Fluorinert/DI-EG
Cooling capacity
冷却能力
2kW (at -10 deg.C), 3.5kW (at >0 deg.C)
Pump capacity
ポンプ能力
20L/min (at 0.4MPa)
Utility water
ユーティリティ水
20L/min (at +25 deg.C)
Special spec
特別仕様
対応可能
Interface
インターフェイス
アナログ/デジタル
Dimensions
寸法
W:390 x D:1035 x H:1245mm
Power supply
パワーサプライ
AC208V 3Phase* 20A 50/60Hz

注:仕様は予告なしに変更する場合がありますので、あらかじめご了承ください。

MX-20冷却能力曲線

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MX-20ポンプ能力曲線

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