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特長

― デュアルチャンネルチラー
― 迅速な加熱・冷却でスループット向上
― ユーザーフレンドリーインターフェース”スマートLCD”
― 消費電力/消費冷却水量の削減を実現
― リークレスポンプの採用
― スモールフットプリント(幅:406mm×奥行914mm)
― SEMI S2, F47に適合、CEマーキング自己宣言済み


NX-21A仕様

使用温度範囲 0~+60℃/デュアルチラー
温度精度 ±1 deg. C
使用循環液 

GALDEN®/Fluorinert™//DI-EG

冷却能力 

Ch-1: 3kW (at +20℃)
Ch-2: 6kW (at +20℃)

ポンプ能力: DI-EG

Ch-1: 9.4L/min (at 0.55MPa)
Ch-2: 18.9L/min (at 0.55MPa)

ポンプ能力: GALDEN®

Ch-1: 13.2L/min (at 0.55MPa)
Ch-2: 26.5L/min (at 0.55MPa)

1次冷却水量

30L/min (at +20℃)

特殊仕様

対応可能

インターフェイス

アナログ/デジタル

外形寸法

W406×D914×H1549mm

電源

AC208 3φ 60A 50/60Hz

注:仕様は予告なしに変更する場合がありますので、あらかじめご了承ください。

 

NX-21A冷却能力曲線

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NX-21Aポンプ能力曲線

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