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SXシリーズ
特長
― 迅速な加熱・冷却でスループット向上
― 高温の1次冷却水(+30℃)でも使用可能
― リークレスポンプの採用
― 特殊熱交換システム設計(特許取得済み)
― SEMI S2, F47に適合、CEマーキング自己宣言済み


SX-21A仕様

Temp. range
温度。範囲
0~+65℃/シングルチラー
temp. accuracy
気温。精度
±1 deg. C
Heat medium
熱は媒体
GALDEN/Fluorinert/DI-EG
Cooling capacity
冷却能力
60Hz:8kW (at +20deg.C)
50Hz:6.8kW (at +20deg.C
Pump capacity
ポンプ能力
60Hz:15L/min (at 0.5MPa)
50Hz:15L/min (at 0.35MPa)
Utility water
ユーティリティ水
30L/min (at +20℃)
Special spec
特別仕様
対応可能
Interface
インターフェイス
アナログ/デジタル
Dimensions
寸法
W665×D536×H1016mm
Power supply
パワーサプライ
AC208V 3Phase* 20A 50/60Hz

注:仕様は予告なしに変更する場合がありますので、あらかじめご了承ください。

 

SX-21Aポンプ能力曲線

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